Structuration par faisceaux d’ions focalisés VISIOCONFERENCE

Structuration par faisceaux d’ions focalisés

Franck Fortuna

ISMO

Sonde locale à l’échelle nanométrique, les faisceaux d’ions focalisés offrent de nombreux moyens de modification des surfaces. Gravure, dopage, stress, dépôts sont autant de processus qui interviennent simultanément lors de leur utilisation et dont la maitrise est la clef de la nano-structuration des surfaces. Plus adaptés à la synthèse d’objet unique ou de prototype qu’à la production de masse, leur polyvalence en fait également un outil de choix pour la synthèse et la manipulation de nano/micro-structures. Couplés à un microscope électronique à balayage, à des micromanipulateurs et à un système d’injection de gaz, les faisceaux d’ions focalisés offrent un fort potentiel pour fonctionnaliser les matériaux, et exacerber les propriétés liées aux basses dimensionnalités.

Après une brève introduction des conditions expérimentales et des principes physiques impliqués lors de leur mise en œuvre, je vous présenterai différents exemples d’applications/ réalisations effectuées avec l’équipement dont nous disposons via la plate-forme SEMFIB de l’ISMO.

De manière à illustrer potentiel et limitations, j’aborderai les possibilités de synthèse localisée à partir de précurseurs gazeux (très utilisés pour la manipulation et la prise de contact électrique sur les nano-structures) et je développerai plus particulièrement les stratégies de gravure et de structuration sur membrane nécessaires aux études de dynamique d’aimantation par holographie X .

Page du site de l'ISMO pour disposer du lien :
http://www.ismo.universite-paris-saclay.fr/spip.php?article2370